Ki teknoloji kle yo pou kontwòl tanperati nan pwosesis semi-conducteurs?

Nan pwosesis semi-conducteurs wafer, jere tanperati inik enpòtan anpil pou asire ke manifakti trè bon ak pèfòmans zouti serye. Plizyè teknoloji kle jwe wòl esansyèl nan atenn jere tanperati kòrèk.
Thermocouples ka aplike nan semiconductor wafer otomatik pou mezi tanperati. Youn nan benefis tèrmokapteur yo se kapasite yo pou yo ofri lekti tanperati kòrèk nan yon varyete de tanperati. Yo ka lokalize tou pre wafer la oswa nan chanm nan pwosesis pou revele chanjman tanperati. Pou egzanp, tèrmokapteur yo ka itilize degre tanperati a nan etaj la wafer oswa faktè yo chofaj nan yon gwo founo dife.
Yon lòt epòk kle se lè l sèvi avèk chofaj siperyè ak estrikti refwadisman. Estrikti sa yo fèt pou jere egzakteman tanperati wafer la atravè etap pwosesis yon sèl-a-kalite. Pou egzanp, estrikti pwosesis rapid tèmik (RTP) sèvi ak ekstrèm modere reassets oswa faktè chofaj elektrik rapid chofe wafer a nan tanperati twòp apre sa ki refwadi li desann rapidman. Estrikti sa yo regilyèman genyen algorithm jere tanperati modèn ak mekanis kòmantè pou asire w jere tanperati kòrèk ak solid.
Detèktè tanperati presizyon tou yo esansyèl. Anplis de tèrmokapteur, diferan varyete detèktè tanperati ki gen ladan detektè tanperati rezistans (RTD) ak tèmistè yo ka itilize. Detèktè sa yo bay yon sèl nan yon kalite benediksyon nan fraz nan presizyon, tan reyaksyon, ak estabilite. Chwazi Capteur tanperati a apwopriye pou yon sèvis piblik chwazi esansyèl pou atenn jere tanperati ki pi efikas.
Sibstans kontwòl tèmik tou ka jwe yon wòl vas. Materyèl ki gen twòp konduktiviti tèmik ka ede boule chalè rapid ak respire, alòske sibstans ki gen koyefisyan kwasans tèmik ki ba ka diminye souch tèmik nan wafer la. Pou egzanp, chalè lavabo pwodwi nan kòb kwiv mete oswa aliminyòm ka itilize pou debarase m de cho ki soti nan wafer la, ak sibstans ki sou koòdone tèmik ka amelyore manyen nan tèmik nan mitan eleman yon sèl-a-yon-kalite.