Ki karakteristik konsepsyon kritik yon plak chofaj pou yon laprès cho vakyòm?

Laprès cho a nan yon chanm vakyòm prezante yon pwoblèm de -pliye. Li dwe aplike chalè inifòm ak presyon pou konekte materyèl yo, pandan y ap san yo pa kontamine vakyòm immaculat la ak òganik degazaj oswa gaz kwense. Plak chofaj atmosferik nòmal yo p ap siviv nan atmosfè primitif sa a ki gen gwo -jeu. Konsepsyon plak chofaj yon vakyòm cho pou laprès nan grafouyen, ak pite materyèl la, sele hermetik ak distribisyon chalè nan tèt ou. Nan aplikasyon tankou lyezon konpoze nan konpozan ayewospasyal, enkapsulasyon semi-kondiktè oswa lyezon difizyon nan metal, platin nan tèt li vin tounen yon enstriman pwosesis kle.

Kondisyon espesyal nan anviwònman an vakyòm
Pa gen okenn konveksyon atmosferik nan yon chanm vakyòm. Transfè chalè soti nan plak la nan materyo a ka fèt sèlman pa kondiksyon (nan pwen kontak) ak pa radyasyon. Sa fè plat la ak inifòmite tèmik nan sifas la nan plak la menm pi enpòtan pase nan lè. Nenpòt espas ant plak la ak pyès travay limite kontak efikas ak lakòz yon diferans tanperati.

Pandan se tan, anviwònman an Hoover trè sansib a polisyon. Degaze-echaj gaz ki kwense yo, imidite, oswa konpoze òganik temèt ki soti nan materyèl yo-ka gate nivo vakyòm nan, kontamine pyès travay la, oswa domaje ponp vakyòm yo. Kidonk, konsepsyon plak chofaj nan vakyòm laprès cho ta dwe gen materyèl ultra-ki ba degassaj ak koule-sere.

Chwa Kritik nan Materyèl pou Low Outgassing
Kò plat la ta dwe fabrike nan yon metal apwopriye vakyòm. Opsyon popilè yo enkli:

316L Nerjaveèi - Opsyon ki pi popilè. Li gen degassaj ki ba, siperyè fòs mekanik nan tanperati ki wo ak rezistans nan oksidasyon nan bakeout vakyòm. Tipikman fini sifas la poli oswa electropolished pou misyon pou minimize sifas la ak plis limite degassaj.

Alyaj aliminyòm (6061 oswa 7075) trete espesyalman - Aliminyòm regilye pa zanmitay pou hoover akòz kouch oksid epè li ki mouye ki kolekte imidite. Men, netwayaj espesifik ak boulanjri vakyòm nan aliminyòm ka itilize pou aplikasyon pou tanperati modere (mwens pase 250 degre) . 316L pi pito pou ultra-vakyòm segondè (UHV).

Inconel oswa lòt superalliaj - Inconel oswa alyaj Haynes yo espesifye pou aplikasyon pou plis pase 500 degre lè asye pur pèdi fòs. Sa yo gen presyon vapè ki ba anpil nan tanperati ki wo.

Tout konpozan entèn yo, ki gen ladan eleman chofaj, izolasyon, fil tèrmokapteur, ak materyèl sele, dwe konfòme yo ak limit degassaj etabli pa estanda tankou ASTM E595 (pou espas ak aplikasyon pou vakyòm) ak yon pèt total mas (TML) 1.0% ak kolekte materyèl temèt kondansab (CVCM) 0.1%.

Materyèl pou evite:

Aliminyòm estanda (segondè degassaj, oksid pore).

Plastik oswa polymère (sòve pou kèk tanperati ki wo, ki ba degase tankou Vespel oswa Kapton itilize ti kras).

Viton oswa elastomè konvansyonèl (silikon oswa fluorosilicone ka akseptab nan anviwònman limite; jeneralman tout sele metal -yo pi preferab).

Eleman chofaj vakyòm-konpatib, hermetik fèmen
Se plat la entegre ak eleman chofaj ki bezwen hermetically sele pou evite outgassing oswa patikil soti nan andedan an. Desen akseptab yo se:

Mineral -izolasyon (MI) kab chofaj - Fil rezistans (NiCr oswa ekivalan) anvlòp nan poud oksid mayezyòm (MgO) konpakte, nan yon djenn metal san pwoblèm (Inconel, 316SS oswa Alloy 600). Nan pwodiksyon MgO a se sèk ak vakyòm degaze Fen yo nan djenn yo soude fèmen.

Chofaj katouch estanda souvan gen sele fen òganik ki soti gaz. Chofaj katouch ak fèmti soude Pou sèvis hoover, yo ka itilize sèlman variantes ki gen bouchon final konplètman soude ak ranpli MgO.

Eleman rezistan ki ankapsile - Pou platan mens, aparèy chofaj papye grave yo ka enkapsile ant de plak metal pa lazè soude alantou periferik la.

Fil elektrik entèn ki konekte eleman chofaj ak feedthroughs yo dwe izole lè l sèvi avèk materyèl ki ba degassaj. Tout kouri se de preferans mineral izole kab. Si yo mande fil fleksib, izolasyon PTFE oswa Kapton (poliimid) apwopriye, men li dwe kwit ak vakyòm byen. Pa gen PVC oswa nilon fil estanda.

Feedthroughs elektrik & Thermocouple (Hermetic)
Nenpòt kouran elektrik oswa liy detèktè ki soti nan atmosfè a deyò chanm vakyòm lan ak nan plak la dwe travèse baryè vakyòm lan. Sa a fèt lè l sèvi avèk seramik-a-metal feedthroughs. Estanda laprès cho plat la nan yon laprès vakyòm karakteristik:

Alimentation pouvwa - De oswa plis kondiktè (depann sou yon sèl- oswa twa-chofaj faz, jan sa apwopriye) brase nan yon bride metal oswa tou dwat nan kò a plato Izolan seramik la anjeneral swa 95% oswa 99% alumina epi li sele ak metal la hermetik.

Thermocouple feedthroughs - Ekstansyon tèrmokapteur Finewire (Tip K oswa J) pase nan yon fitting vacuumtight, anjeneral ak yon ti sele seramik-a-metal.

Feedthroughs sa yo bezwen pou fè rated pou tanperati travay plat la (anjeneral 300-500C pou yon aplikasyon vakyòm pou laprès cho) ak presyon diferans lan (1 atm deyò, vakyòm andedan). Yo teste fuit ak yon espektwomèt mas elyòm nan yon pousantaj koule mwens pase 10⁻⁹ mbar·L/s.

Nenpòt kavite nan plak la--tankou yon twou avèg pou yon tèrmokapteur oswa yon pòch fil pou yon fixation--kapab yon "flit vityèl." Enpòtan: Gaz ki bloke nan kavite sa yo pral piti piti koule soti nan vakyòm nan, ogmante tan ponp-desann ak deteryore presyon baz. Achitekti a dwe pèmèt pasaj vantilasyon nan kavite sa yo pou konekte yo ak anviwònman an deyò oswa yo dwe efase tout ansanm. Pa egzanp, yon pi tèrmokapteur anjeneral ayere pa yon ti twou (0.5-1.0 mm dyamèt) anwiye nan sifas la nan plak la, ki pèmèt evakyasyon nan lè kwense.

Inifòmite tèmik anba kondisyon vakyòm
Nan absans koule lè konvektif pou ede nan distribisyon chalè a, plak la dwe depann sèlman sou kondiksyon ak radyasyon entèn pou jwenn yon tanperati sifas inifòm. Karakteristik konsepsyon kle pou inifòmite:

Aranjman aparèy chofaj optimize - Eleman chofaj yo mete baze sou analiz eleman fini (FEA) konsa ke divèjans nan tanperati sifas k ap travay se nan ±2-5 degre. Gen souvan plizyè aparèy chofaj endepandan kontwole ak tèrmokapteur pou kontwòl zòn.

Kò plak epè ki gen gwo konduktivite - Yon plak ki pi epè (egzanp, 25–40 mm) ap amelyore distribisyon chalè lateral. Men, gen yon konpwomi ant epesè ak pwa ak repons tèmik.

Flatness ak sifas poli - Sifas kontak anlè a se tè plat nan 0.025-0.05 mm (0.001-0.002 pous) sou zòn nan platin. Yon bon sifas fini (Ra < 0.8 μm) bay kontak tèmik efikas nan moso travay la ak diminye zòn sifas pou outgassing.

Izolasyon dèyè plak la An jeneral, kote ki pa -k ap travay nan plak la izole avèk tablo fib seramik ki ba-degaze (pa egzanp, silica oswa fib alumina) pou dirije chalè pi devan. Planch sa yo dwe kwit pou retire atach ak volatiles.

An reyalite, plak yo souvan kwit anba vakyòm anvan yo itilize, souvan nan 150-300 degre anba vakyòm pou plizyè èdtan, pou elimine imidite absòbe ak enpurte rezidyèl yo. Apre boulanjri, plat la rive nan eta ki estab li yo ki ba degassaj.

Vacuum Hot Press Chauffage Plak Design Checklist
Vakyòm cho pou laprès chofaj plak konsepsyon lis verifikasyon apwofondi se jan sa a:

Kategori Metòd Verifikasyon Karakteristik Kritik
Body material 316L stainless steel (or Inconel for >500 degre) sètifika materyèl tretman sifas (elektwopolish)
Mineral sele hermetik -izole (MI) kab eleman chofajPa gen sele fen òganik, djenn soude
Izolasyon entèn MgO konpakte (sèk, degaze vakyòm) Done degase manifakti pa hoover
FeedthroughsSeramik-a-metal, pousantaj koule<10-9 mbar·L/sHelium leak test