Vacuum electroplating elektrik chofaj tib quadrupole sputtering

Vacuum electroplating elektrik chofaj tib quadrupole sputtering

Sou baz twa-pol sputtering, yon bobin buncher, ki rele tou anod oksilyè oswa elektwòd estabilizasyon, se tache deyò chanm nan kouch. Fonksyon bobin bunching a se rasanble elektwon ant katod sib la ak anod substra a, pandan sa a fòme yon kolòn ba-vòltaj, gwo-aktyèl plasma arc, yon gwo kantite elektwon fè kolizyon ak gaz la pou ionizasyon, ak yon gwo. kantite iyon yo pwodwi. Elektwon yo fè yon mouvman espiral, ki ogmante distans elektwon yo ak pèseptè elektwon an, kidonk ogmante pwobabilite pou iyonizasyon kolizyon, ak dansite aktyèl la rive nan 2-5mA/cm2. Anplis de sa, bobin kondansasyon an tou gen fonksyon pou estabilize egzeyat la.

Metòd sputtering sa a toujou pa ka siprime bonbadman substra a pa elektwon yo gwo vitès ki te pwodwi pa sib la, epi tou li gen pwoblèm tankou kontaminasyon nan fim nan akòz enpurte nan filaman an.

Vacuum electroplating elektrik chofaj tib twa-pol sputtering

Twa-pol sputtering se tache yon elektwòd, yon katod cho, nan aparèy la nan de-pol sputtering, ki emèt elektwon tèrmionik. Li pa ka sèlman amelyore to a sputtering, men tou, fè kontwòl la nan kondisyon sputtering pi pratik. Dansite aktyèl la ogmante a 1-3mA/cm2, epi vòltaj sib la redwi a 1-2kv. Katod cho 0-50v patipri negatif. Nan fason sa a, pousantaj sputtering ogmante epi bon jan kalite a nan kouch amelyore akòz vakyòm nan depo ogmante.

Dezavantaj nan dyòd sputtering pou Vacuum Electroplating tib chofaj elektrik

Dyòd sputtering se youn nan pi bonè metòd sputtering. Li itilize materyèl la kouch kòm katod la ak materyèl la kouvwi kòm anod la. Katod la konekte ak yon vòltaj segondè DC negatif nan 1-3KV, epi Anòd la anjeneral chita. Lè w ap travay, premye pase vakyòm, ak Lè sa a, pase gaz agon pou fè chanm vakyòm lan rive nan presyon an sputtering. Lè pouvwa a limen, vòltaj segondè negatif sou sib katod la jenere yon egzeyat lumineux ant de poto yo epi etabli yon zòn plasma, nan ki iyon agon ki chaje pozitivman akselere pou bonbade sib katod la anba aksyon potansyèl katod la. gout tou pre katod la, se konsa ke sifas la nan materyèl la sib akselere. Li se sputtered ak depoze sou sifas la nan substra a nan yon eta molekilè oswa atomik yo fòme yon fim mens nan materyèl la sib.

Avantaj nan pi gwo nan aparèy sa a se estrikti senp li yo ak kontwòl pratik. Dezavantaj yo se: fim nan andwi akòz gwo presyon k ap travay la; pousantaj depo a ba, epi fim nan epè ki pi wo a 10um pa ka plake; tanperati a nan substra a twò wo akòz bonbadman dirèk nan substra a pa yon gwo kantite elektwon segondè.

www.superbheater.com