Se materyèl machin vakyòm kouch evapore ak transpòte nan substra a pou depozisyon ak fòmasyon fim
Kite yon mesaj
Se materyèl machin vakyòm kouch evapore ak transpòte nan substra a pou depozisyon ak fòmasyon fim
Kouch evaporasyon vakyòm se yon metòd kouch vakyòm nan chofaj ak evapore materyèl la anba kondisyon vakyòm pou sublime kouran an patikil evapore dirèkteman nan substra a, epi depoze yon fim solid sou substra a, oswa chofaj ak evapore materyèl la kouch.
Pwosesis fizik la soti nan evaporasyon an ak transpò materyèl nan substra a pou depo ak fòmasyon fim. Pwosesis fizik la se: Konvèti nan enèji chalè pa plizyè metòd enèji, chofe materyèl la plating pou evapore oswa sublime, epi vin patikil gaz ak yon sèten enèji ({{0}}.1 ~ 0.3eV) (atòm, molekil oswa gwoup atomik); kite sifas la nan materyèl la kouch, patikil gaz ak yon vitès k ap deplase konsiderab yo transpòte nan sifas la nan substra a nan yon vòl dwat san kolizyon anpil; patikil gaz yo rive nan sifas substra a kondanse, nwaye ak grandi nan yon fim faz solid; konpozisyon Atòm fim nan reranje oswa kreye lyezon chimik.
Dezavantaj prensipal yo nan teknoloji vakyòm coater arc:
- Materyèl sib limite
- Sèvi ak metal sèlman (san oksid), sa ki lakòz tanperati evaporasyon ki ba
- Akòz gwo dansite aktyèl la, gen kèk materyèl sib evapore ak salte nan ti gout.
Avantaj nan teknoloji vakyòm coater arc:
plis gwo pousantaj depozisyon (~1-3 µm/h)
plis Segondè pousantaj ionizasyon, fòme yon byen kole, kouch dans
plis refwadisman sib, mwens chofaj nan materyo a kouvwi, ki pèmèt depo anba a 100 degre.
plis Li ka evapore metal nan divès konpozisyon, ak konpozisyon sib solid ki rete a rete san okenn chanjman.
plis katòd ka mete nan nenpòt pozisyon (orizontal, vètikal, anwo ak pi ba), konsepsyon aparèy fleksib
Mouvman vakyòm kouch machin arc
Mouvman arc la kontwole pa yon jaden mayetik. Plasma ki fòme pa iyon metal yo evapore yo pral depoze sou sifas pyès la. Materyo sa yo vire nan chanm vakyòm lan. Kouch la prepare pa arc la anjeneral aplike sou sifas la nan zouti ak pati. kouch.
www.superbheater.com
