Apre yo fin grave modèl konplike nan yon sikwi nan yon wafer Silisyòm, mask pwoteksyon fotorezistan -yon kouch polymère difisil, kwa-ki lye- dwe konplètman epi pwòpteman retire li. Sa a se akonpli nan yon beny cho nan Solvang òganik pwisan, agresif, souvan chofe a plis pase yon santèn degre Sèlsiyis. Chofaj la imèsyon andedan chimi temèt, korozif sa a dwe fèt ak yon materyèl ke solvang yo pa ka fonn, anfle, oswa kontamine. PTFE se ke chimikman bèbè, materyèl inaktif.

Wòl nan aparèy chofaj PTFE nan Photoresist retire rad sou ou

Beny dezabiye a anjeneral konsiste de yon melanj de solvang tankou N-Methyl-2-pyrrolidone (NMP), dimethyl sulfoxide (DMSO), ak fò amine alkalin, chofe a 80-110 degre. Yon aparèy chofaj imèsyon PTFE se chwa estanda pou aplikasyon sa a. Djenn chimikman inaktif li konplètman rezistan a Solvang agresif yo, ki ta otreman atake plastik estanda ak korode metal yo.

Chofaj PTFE a bay chalè pwòp, ki estab, ak egzak san yo pa lage iyon metal oswa lòt kontaminan ki ta ka depoze sou sifas la wafer primitif. Sifas PTFE ki pa -baton, lis, reziste kont akimilasyon rezidi fotorezistan ki fonn, kenbe yon sifas chofaj parfe pwòp sou sik repete. Pwosesis PTFE aparèy chofaj photoresist nidite wafer asire distribisyon tanperati inifòm ak minimize lokalize bouyi oswa eurt ki ta ka deranje wafers yo delika.

"Achofaj la PTFE se yon chimikman an silans, dwèt cho nan yon beny nan Solvang pwisan, nidite lwen mask la san yo pa kite yon sèl tras nan tèt li, pandan y ap kenbe wafer la primitif ak elektrik san defo."

Konsiderasyon sekirite

Melanj sòlvan an se ki ka pran dife, toksik, e souvan opere tou pre pwen bouyi li yo. Konsepsyon apwopriye tank, ki gen ladan patiraj sele, tè, ak vantilasyon, obligatwa pou anpeche dife, ekspoze vapè, oswa danje elektwostatik. Dansite watt konsèvatif yo oblije kenbe chofaj kontwole epi evite sòlvan eurt oswa lokalize surchof nan djenn PTFE la.

Benefis operasyonèl

Sèvi ak aparèy chofaj PTFE nan pwosesis sa a pèmèt:

Iminite chimik nan melanj sòlvan agresif.

Antretyen pwòpte absoli wafer ak entegrite elektrik.

-Fyab alontèm san korozyon oswa degradasyon.

Menm, rezidi-gratis chofaj gratis pou fabwikasyon semi-kondiktè segondè-sede.

Konklizyon

Yon aparèy chofaj imèsyon PTFE se sous chalè kritik, iminitè chimik ki pèmèt pwòp, nèt sou tout pwen nidite photoresist de wafers nan fabwikasyon semiconductor. Lè yo bay chalè ki estab, kontaminan-gratis nan yon beny sòlvan trè agresif, aparèy chofaj PTFE a asire pwòpte atomik esansyèl nan mikwoelektwonik modèn. Se pafè, andomaje sifas nan yon chip òdinatè reyalize nan konbinezon an nan agresyon chimik ak inaktif, chofaj serye.