Evaporasyon machin vakyòm kouch se yon pwosesis enpòtan

Evaporasyon machin vakyòm kouch se yon pwosesis enpòtan

Yo analize karakteristik kontwòl epesè fim nan EI -5Z elèktron gwo bout bwa coater. Avèk èd nan rezilta eksperimantal ak rechèch teyorik, yo te reamenaje yon plak ajisteman ki pi pratik, epi yo te jwenn pi bon pèfòmans fim: devyasyon nan substra a te nan ± 3 pousan, ak devyasyon ant menm pakèt substrats la te nan seri a nan. ±5 pousan Anndan. Satisfè egzijans pwodiksyon an mas.

Nan pwodiksyon semi-conducteurs, evaporasyon se yon pwosesis enpòtan. Presizyon kontwòl epesè fim se yon endikatè kle pou mezire efè evaporasyon an, ki afekte dirèkteman pwosesis pwodiksyon ki vin apre a ak pèfòmans final la. Nan pwodiksyon an mas, sou yon bò, mezi egzat epesè fim mete aksan sou, ak lòt bò, inifòmite nan epesè fim-ki se, chanjman nan epesè fim ak sifas la nan substra a ak chanjman nan epesè fim. ant substrats nan diferan pozisyon sou etajè a- Genyen tou gwo demand.

Prensip debaz la nan evaporasyon machin vakyòm kouch

Evaporasyon se teknik ki pi ansyen nan metòd depoze fim mens nan kondisyon vakyòm. Apre yon tan, nan anpil aplikasyon, li te piti piti ranplase pa lòt metòd, tankou SPUTERRING oswa PECVD, men chak fwa gwo sifas mande pou gwo pousantaj depo fim mens, teknoloji evaporasyon se toujou solisyon ki pi lajman itilize ak Ekonomik.

Prensip teknik evaporasyon an trè senp. Yo mete sibstans ki pou evapore a (sous evaporasyon) nan yon veso espesifik (creze) nan yon chanm espesifik kote yo pral fè operasyon evaporasyon an, epi chofe nan yon sèten tanperati anba kondisyon vakyòm. Gen de metòd pou chofe materyèl evapore a, pa yon gwo bout bwa elèktron eksite pa yon jaden mayetik pwovoke, oswa pa chofaj fil rezistans. Nan pati chanm nan evaporasyon ki pa pwoteje pa vole a, sibstans ki evapore yo pral depoze sou sifas la pou fòme yon fim mens.

www.superbheater.com